Применливо за сензорот за притисок на вообичаената железница на Passat гориво 06E906051K

1. Метод за формирање на сензор за притисок, кој содржи:

Обезбедување на полупроводничка подлога, каде што првиот меѓуслоен диелектричен слој, првиот меѓуслоен диелектричен слој и втор меѓуслоен диелектричен слој се формираат на полупроводничката подлога.

Пониска електродна плоча во првиот меѓуслоен диелектричен слој, прва меѓусебна електрода сместена на истиот слој како плочата на долната електрода и распоредена.

Поврзувачки слоеви;

Формирање на жртвен слој над долната поларна плоча;

Формирање на горната електродна плоча на првиот меѓуслоен диелектричен слој, првиот слој за меѓусебно поврзување и жртвениот слој;

По формирањето на жртвениот слој и пред формирањето на горната плоча, во првиот слој за интерконекција

Формирање жлеб за поврзување и пополнување на жлебот за поврзување со горната плоча за електрично поврзување со првиот слој за интерконекција;Или,

По формирањето на горната електродна плоча, се формираат поврзувачки жлебови во горната електродна плоча и првиот слој за меѓусебно поврзување, кој

Формирање на проводен слој што ги поврзува горната електродна плоча и првиот слој за меѓусебно поврзување во жлебот за поврзување;

По електрично поврзување на горната плоча и првиот слој за интерконекција, отстранување на жртвениот слој за да се формира празнина.

2. Методот за формирање на сензор за притисок според барањето 1, при што во првиот слој

Методот за формирање на жртвениот слој на меѓуслојниот диелектричен слој ги содржи следните чекори:

Депонирање на жртвен материјален слој на првиот меѓуслоен диелектричен слој;

Обликување на жртвениот материјален слој за да се формира жртвен слој.

3. Методот за формирање на сензорот за притисок според барањето 2, при што се користат фотолитографија и гравирање.

Слојот на жртвен материјал е обликуван со процес на офорт.

4. Методот за формирање на сензор за притисок според барањето 3, при што жртвениот слој

Материјалот е аморфен јаглерод или германиум.

5. Методот за формирање на сензор за притисок според барањето 4, при што жртвениот слој

Материјалот е аморфен јаглерод;

Гасовите за офорт што се користат во процесот на офортување на жртвениот материјален слој вклучуваат O2, CO, N2 и Ar;

Параметрите во процесот на гравирање на слојот од жртвен материјал се: опсегот на проток на O2 е 18 SCCM ~ 22 SCCM, а брзината на проток на CO е 10%.

Стапката на проток се движи од 90 SCCM до 110 SCCM, стапката на проток на N2 се движи од 90 SCCM до 110 SCCM, а брзината на проток на Ar.

Опсегот е 90 SCCM ~ 110 SCCM, опсегот на притисок е 90 mtor ~ 110 mtor, а моќта на пристрасност е

540w-660w.