Применливо за Passat Fuel Заеднички сензор за притисок на железницата 06E906051K

1. Метод за формирање на сензор за притисок, кој содржи:

Обезбедување на полупроводнички супстрат, при што првиот меѓуслојник диелектричен слој, првиот меѓуслојник диелектричен слој и втор меѓуслојник диелектричен слој се формираат на полупроводникот подлога.

Долна плоча за електрода во првиот диелектричен слој на меѓуслојни, прва меѓусебна електрода лоцирана на истиот слој како долната плоча за електрода и распоредена.

Поврзување на слоеви;

Формирање на жртвуван слој над долната поларна плоча;

Формирање на горната електрода плоча на првиот диелектричен слој на меѓуслојниот, првиот слој за интерконекција и жртвуваниот слој;

По формирањето на жртвуваниот слој и пред да ја формирате горната плоча, во првиот слој за интерконекција

Формирање на жлеб за поврзување и пополнување на жлебот за поврзување со горната плоча за електрично да се поврзете со првиот слој за интерконекција; Или,

По формирањето на горната плоча за електрода, жлебовите за поврзување се формираат во горната плоча на електрода и првиот слој за интерконекција, кои

Формирање на спроводлив слој што ја поврзува горната плоча за електрода и првиот слој за интерконекција во жлебот за поврзување;

По електричното поврзување на горната плоча и првиот слој за интерконекција, отстранувајќи го жртвениот слој за да формираат празнина.

2. Метод за формирање на сензор за притисок според тврдење 1, каде во првиот слој

Методот за формирање на жртвуваниот слој на меѓуслојниот диелектричен слој ги опфаќа следниве чекори:

Депонирање на жртвен материјален слој на првиот диелектричен слој на меѓуслојни;

Моделирање на жртвуваниот материјален слој за да се формира жртвен слој.

3.

Покривниот материјален слој е во форма со процес на гравирање.

4. Метод за формирање на сензор за притисок според тврдење 3, при што жртвуваниот слој

Материјалот е аморфен јаглерод или германиум.

5. Метод за формирање на сензор за притисок според тврдење 4, каде што жртвуваниот слој

Материјалот е аморфен јаглерод;

Грасни гасови што се користат во процесот на оформување на жртвуваниот материјален слој вклучуваат O2, CO, N2 и AR;

Параметрите во процесот на гравирање на жртвуваниот материјал од слојот се: опсегот на проток на O2 е 18 SCCM ~ 22 SCCM, а стапката на проток на CO е 10%.

Стапката на проток се движи од 90 SCCM до 110 SCCM, стапката на проток на N2 се движи од 90 SCCM до 110 SCCM и стапката на проток на AR.

Опсегот е 90 SCCM ~ 110 SCCM, опсегот на притисок е 90 mTOR ~ 110 mTOR, а моќноста на пристрасност е

540W ～ 660W