Сензор за притисок на моторот 2CP3-68 1946725 за багер Картер

Метод за подготовка на сензор за притисок, кој се карактеризира со составување на следниве чекори:

S1, обезбедувајќи нафта со задна површина и предна површина; Формирање на пиезорезистичка лента и силно допирана површина за контакт на предната површина на нафтата; Формирање на длабока празнина под притисок со оформување на задната површина на нафтата;

S2, врзувајќи лист за поддршка на задниот дел од нафтата;

S3, производство на дупки за олово и метални жици од предната страна на нафтата и поврзување на пиезорезистичките ленти за да формираат мост на Wheatstone;

S4, депонирање и формирање на пасивационен слој на предната површина на нафтата и отворајќи дел од слојот за пасивација за да формира метална подлога. 2. Методот на производство на сензорот за притисок според барањето 1, назначен со тоа што S1 ги опфаќа следниве чекори: S11: Обезбедување на нафта со задна површина и предна површина и дефинирање на дебелината на филмот чувствителен на притисок на нафта; S12: Имплантацијата на јон се користи на предната површина на нафтата, пиезорезистичките ленти се произведуваат со процес на дифузија со висока температура, а регионите за контакт се силно допирани; S13: Депонирање и формирање на заштитен слој на предната површина на нафтата; S14: Оградување и формирање на длабока празнина на притисок на задниот дел од нафтата за да формира филм чувствителен на притисок. 3. Метод на производство на сензорот за притисок според барањето 1, каде што нафтата е SOI.

Во 1962 година, Туфте и др. Произведен сензор за пиезорезистички притисок со дифузни силиконски пиезорезистивни ленти и структура на силиконски филмови за прв пат и го започна истражувањето за сензорот за пиезорезистентен притисок. Во доцните 1960 -ти и почетокот на 1970 -тите, појавата на три технологии, имено, силиконска анизотропна технологија за гравирање, технологија за јонска имплантација и технологија за анодично врзување, донесе големи промени во сензорот за притисок, кои одиграа важна улога во подобрувањето на перформансите на сензорот за притисок. Од 1980 -тите, со понатамошен развој на технологијата на микромашини, како што се анизотропско гравирање, литографија, допинг на дифузија, јонска имплантација, сврзување и обложување, големината на сензорот за притисок е континуирано намалена, чувствителноста е подобрена, а излезот е голем и перформансите се големи. Во исто време, развојот и примената на новата технологија за микромахинирање ја прават дебелината на филмот на сензорот за притисок точно контролирана.