Сензор за притисок на моторот 2CP3-68 1946725 за багер Картер

Метод за подготовка на сензор за притисок, кој се карактеризира со следните чекори:

S1, обезбедувајќи нафора со задна површина и предна површина; Формирање на пиезорезистична лента и силно допирана контактна површина на предната површина на нафората; Формирање длабока шуплина под притисок со гравирање на задната површина на нафората;

S2, врзување на потпорен лист на задната страна на нафората;

S3, производство на оловни дупки и метални жици на предната страна на нафората и поврзување на пиезорезистивни ленти за да се формира Wheatstone мост;

S4, депонирајќи и формирајќи слој за пасивација на предната површина на нафората и отворајќи дел од слојот за пасивација за да формирате метална подлога. 2. Методот на производство на сензорот за притисок според барањето 1, назначен со тоа, што S1 конкретно ги содржи следните чекори: S11: обезбедување на нафора со задна површина и предна површина, и дефинирање на дебелината на филм осетлив на притисок на обландата; S12: имплантација на јони се користи на предната површина на нафората, пиезорезистичните ленти се произведуваат со процес на дифузија на висока температура, а контактните региони се силно допингувани; S13: таложење и формирање на заштитен слој на предната површина на нафората; S14: офорт и формирање длабока шуплина под притисок на задниот дел од нафората за да се формира филм осетлив на притисок. 3. Методот на производство на сензорот за притисок според барањето 1, назначен со тоа, што нафората е SOI.

Во 1962 година, Туфте и сор. за прв пат произведе пиезорезистивен сензор за притисок со дифузни силиконски пиезорезистични ленти и структура на силиконски филм и започна со истражување на пиезорезистивен сензор за притисок. Во доцните 1960-ти и раните 1970-ти, појавата на три технологии, имено, технологијата на силиконска анизотропна офорт, технологијата за имплантација на јони и технологијата за анодна врска, донесе големи промени во сензорот за притисок, кој одигра важна улога во подобрувањето на перформансите на сензорот за притисок. . Од 1980-тите, со понатамошниот развој на технологијата за микромашина, како што се анизотропното офорт, литографија, дифузионен допинг, имплантација на јони, поврзување и обложување, големината на сензорот за притисок континуирано се намалува, чувствителноста се подобрува, а излезот е висок и перформансите се одлични. Во исто време, развојот и примената на новата технологија за микромашина прави прецизно контролирана дебелината на филмот на сензорот за притисок.