Структура на пиезорезистичкиот сензор

Во овој сензор, лентата за отпорник е интегрирана на монокристалниот силиконски дијафрагма со процес на интеграција за да се направи силиконски пиезорезистентен чип, а периферијата на овој чип е фиксирано спакувана во школка, а оловото на електродата се водат надвор. Сензорот за пиезорезивен притисок, познат и како сензор за притисок на цврста состојба, е различен од лепливото мерач на вирус, кој треба да ја почувствува надворешната сила индиректно преку еластични чувствителни елементи, но директно го чувствува измерениот притисок преку силиконска дијафрагма.

Едната страна од силиконската дијафрагма е празнина под висок притисок што комуницира со измерениот притисок, а другата страна е празнина со низок притисок што комуницира со атмосферата. Општо, силиконската дијафрагма е дизајнирана како круг со фиксна периферија, а односот на дијаметар до дебелина е околу 20 ~ 60. Четири ленти за отпорност на нечистотии се шират локално на кружната силиконска дијафрагма и се поврзани во целосен мост, од кои две се во компресивната стрес зона, а другите се во зоната на стрес, а кои се во однос на центрите на целта на центрот на центрите.

Покрај тоа, има и сензор за дијафрагма на квадратна силикон и силиконска колона. Силиконскиот цилиндричен сензор е исто така изработен од резистивни ленти со дифузија во одредена насока на кристална рамнина на силиконскиот цилиндер, а две ленти за отпорност на стрес на затегнување и две компресивни ленти за отпорност на стрес формираат целосен мост.

Пиезорезистичкиот сензор е уред направен со отпорност на дифузија на подлогата на полупроводнички материјал според пиезорезивниот ефект на полупроводничкиот материјал. Неговата подлога може директно да се користи како мерен сензор, а отпорноста на дифузија е поврзана во подлогата во форма на мост.

Кога подлогата е деформирана со надворешна сила, вредностите на отпорот ќе се променат и мостот ќе произведе соодветен неурамнотежен излез. Подлоги (или дијафрагми) што се користат како пиезорезистички сензори се главно силиконски нафора и германиумски нафора. Силиконските пиезорезистивни сензори изработени од силиконски нафора бидејќи чувствителните материјали привлекоа сè поголемо внимание, особено пиезорезистичките сензори со цврста состојба за мерење на притисокот и брзината се најшироко користени.