Структура на пиезорезистивен сензор

Во овој сензор, лентата на отпорот е интегрирана на монокристалната силициумска дијафрагма со процес на интеграција за да се направи силиконски пиезорезистивен чип, а периферијата на овој чип е фиксно спакувана во обвивката, а изводите на електродата се изведени надвор. Пиезорезистивниот сензор за притисок, исто така познат како сензор за притисок во цврста состојба, се разликува од манометарот на лепило, кој треба индиректно да ја почувствува надворешната сила преку еластичните чувствителни елементи, но директно го чувствува измерениот притисок преку силиконската дијафрагма.

Едната страна на силиконската дијафрагма е шуплина под висок притисок што комуницира со измерениот притисок, а другата страна е шуплина со низок притисок што комуницира со атмосферата. Општо земено, силиконската дијафрагма е дизајнирана како круг со фиксирана периферија, а односот на дијаметарот и дебелината е околу 20 ~ 60. Четири P ленти за отпорност на нечистотија се дифузни локално на кружната силиконска дијафрагма и се поврзани во полн мост, од кои две се во зоната на притисок на притисок, а другите две се во зоната на затегнување, кои се симетрични во однос на центарот на дијафрагмата.

Покрај тоа, има и квадратна силиконска дијафрагма и сензор за силиконска колона. Силиконскиот цилиндричен сензор е исто така направен од резистивни ленти со дифузија во одредена насока на кристалната рамнина на силиконскиот цилиндар, а две ленти отпорни на напрегање на истегнување и две ленти отпорни на притисок на притисок формираат целосен мост.

Пиезорезистентниот сензор е уред направен со дифузиона отпорност на подлогата од полупроводнички материјал според пиезорезистичниот ефект на полупроводничкиот материјал. Неговата подлога може директно да се користи како сензор за мерење, а отпорот на дифузија е поврзан во подлогата во форма на мост.

Кога подлогата е деформирана од надворешна сила, вредностите на отпорот ќе се променат и мостот ќе произведе соодветен неурамнотежен излез. Подлогите (или дијафрагмите) што се користат како пиезорезиститивни сензори се главно силиконски наполитанки и германиумски наполитанки. Силиконските пиеорезиститивни сензори изработени од силиконски наполитанки како чувствителни материјали привлекуваат се повеќе внимание, особено пиеорезистивните сензори во цврста состојба за мерење притисок и брзина се најшироко користени.